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利用SILVACO软件的两个组件ATHENA和ATLAS对SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器进行工艺实现和特性研究。利用ATHENA模块完成各工艺步骤以及退火工艺,最终实现整个器件。利用ATLAS模块对ATHENA得到的器件结构进行光、暗电流模拟仿真。并与软件建模仿真结果进行对比研究,验证工艺实现的有效性。