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德国微系统工程的进展
德国微系统工程的进展
来源 :光机电世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:play11200
【摘 要】
:
<正> 近年来发达国家对微系统工程的研究与开发十分活跃。在高新技术领域开拓了一条崭新的道路。从世界范围来看,美国领先,德国随后,我国的研制工作也已起步。各国在这一领域
【作 者】
:
大舟
【出 处】
:
光机电世界
【发表日期】
:
1994年11期
【关键词】
:
微系统工程
系统工程
微型技术
微机械结构
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<正> 近年来发达国家对微系统工程的研究与开发十分活跃。在高新技术领域开拓了一条崭新的道路。从世界范围来看,美国领先,德国随后,我国的研制工作也已起步。各国在这一领域的进展各有特色。现介绍一下德国在这方面的进展情况,以供参考。
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