【摘 要】
：
用树脂结合剂金刚石砂轮将贴膜厚度为80μm和160μm的单晶硅片减薄到400μm,通过测量硅片边缘的崩边尺寸评价贴膜对硅片加工质量的影响.试验结果表明:硅片贴膜能有效降低硅片
【机 构】
：
大连理工大学,合肥工业大学机械工程学院/现代集成制造与数控装备研究所,郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
【基金项目】
：
国家自然科学基金(51735004,51775084),中央高校基本科研业务费专项资金资助(JZ2017HGBZ0956)
论文部分内容阅读
用树脂结合剂金刚石砂轮将贴膜厚度为80μm和160μm的单晶硅片减薄到400μm,通过测量硅片边缘的崩边尺寸评价贴膜对硅片加工质量的影响.试验结果表明:硅片贴膜能有效降低硅片碎片率;当硅片未贴膜时,硅片的平均崩边尺寸为3.08μm,当硅片贴膜厚度为80μm和160μm时,硅片的平均崩边尺寸为4.61μm和3.60μm;即硅片贴膜磨削对硅片崩边有恶化作用,但该影响较小,用厚膜时恶化程度可控制在20%以内.且用23μm金刚石砂轮减薄磨削贴膜硅片时,硅片<110>晶向和<100>晶向的崩
其他文献
随着我国社会发展愈发顺利,推动国内经济也快速发展,加强国有企业干部队伍建设,培养一支政治素质高、业务能力好的干部队伍,成为保证企业顺利完成各项任务,并且实现可持续性
钛合金在磨削加工时容易产生烧伤现象,影响工件表面质量,因而传统的磨削加工大量采用磨削液浇注法降低磨削温度,但是磨削液的大量使用给环境和操作者健康带来了很大的危害,而
采用等位酶分析技术对16株光皮树优株的遗传多样性进行研究。4种等位酶系统共检测到11个基因位点，其中9个位点为多态位点。光皮树优株多态位点的百分率P为81．82％，每位点平均等位
目的:通过了解马斯诺需求层次理论,在基于其低到高五种需求层次下选取现有老年产品设计进行需求与功能分析,以便为日后老年产品设计提供指导作用.
思想政治工作是党的工作的重要组成部分，是实现党的领导的重要途径和社会主义精神文明建设的重要内容．也是搞好经济工作和其他一切工作的有力保证。思想政治工作必须服从和服务
掺硼金刚石膜由于具有金属的电导率,在电学和电化学领域已显示出广阔的应用前景。在掺硼金刚石膜的制备工艺中,掺硼浓度对金刚石膜形貌具有一定影响。通过采用自制的热丝CVD
各市、县人民政府，省人民政府各委、厅，各直属机构，各电信运营企业：电信网络是国家重要的基础设施。加快电信网络基础设施建设对于应对国际金融危机、促进经济增长具有重要作用。
通过对国内新中式居住区景观趋势的调查、优势分析及现状调查,综合论述如何在现代景观风潮中创造具有中华民族风韵的景观作品：将中式景观特色整合并加以提炼出的＂新中式＂建筑风
昔阳水磨头渔乡旅游开发项目，总投资1200万元。该项目以松溪河、黄沙岭山系为载体，以世外桃园水磨头村为中心，以山水治理为重点，以打造3公里松溪河漂流、10万平米河湾水库、10万
本试验使用石墨白刚玉砂轮精密磨削铁氧体,可实现简化工艺的目的。实验结果表明：在磨削速度24m/s、工件速度1~10m/min、切深2.5~7.5μm的普通磨削工艺条件下,铁氧体零件的表面