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氮化铝高温隧道烧结炉设计及试验研究
氮化铝高温隧道烧结炉设计及试验研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suan11111
【摘 要】
:
针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺
【作 者】
:
陈庆广
邓斌
王学仕
万喜新
姬常晓
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2020年4期
【关键词】
:
高温隧道烧结炉
氮化铝陶瓷
高温烧结工艺
High temperature tunnel sintering furnaceAlN ceramicsHigh t
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针对以“新基建”为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响。
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