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Al-Mx金属多层膜的红外特性研究
Al-Mx金属多层膜的红外特性研究
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lllll15
【摘 要】
:
利用红外光谱仪分析了用离子溅射技术制备的Al-Mx金属多层膜的红外特性。结果表明,在2000~4000cm^-1波段多层膜具有良好的红外吸收特性,并推导了多层膜对特定波段的红外波的吸收
【作 者】
:
王闸
孙勇
【机 构】
:
昆明理工大学材料与冶金工程学院材料系,云南省新材料制备与加工重点实验室
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2004年F04期
【关键词】
:
金属多层膜
特性研究
红外吸收特性
红外光谱仪
红外特性
溅射技术
红外波
波段
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利用红外光谱仪分析了用离子溅射技术制备的Al-Mx金属多层膜的红外特性。结果表明,在2000~4000cm^-1波段多层膜具有良好的红外吸收特性,并推导了多层膜对特定波段的红外波的吸收公式。
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