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用象散法测试原子力显微镜力传感器的固有频率
用象散法测试原子力显微镜力传感器的固有频率
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiekc
【摘 要】
:
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力的工具。由悬臂梁与探针集成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,而固有频率是其一个主要技术参数。本文介绍了一
【作 者】
:
薛实福
刘永生
【机 构】
:
清华大学精密仪器系
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
原子力显微镜
固有频率
传感器
Atomic Force Microscope
Cantilever Stylus
Optic Astigmation
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原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力的工具。由悬臂梁与探针集成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,而固有频率是其一个主要技术参数。本文介绍了一种采用光学象散理测试子力显微镜的力传感器固有频率测试系统的原理、组成和测试方法。
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