论文部分内容阅读
采用低分布参数陶瓷探针卡和卡上前置放大器的静电驱动测试方案，解决了微机械陀螺管芯测试中分布参数的影响问题，测得准确的频率特性，获得应用、评估中必需的谐振频率、品质因数（Q值）等参数。在将管芯与测试电路分离、结合的过程中，四维精密位移台发挥了良好的作用。显微视频系统使观察、记录更加准确方便。虚拟仪器技术的应用提高了测试过程的自动化程度。系统为快速剔除不合格产品、测试评估各项性能指标提供了快速有效途径，在促进微机械陀螺技术发展与产业化过程中必将发挥重要的作用。