【摘 要】
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给出了自制的3mm×3mm位置敏感元件(PSD)的光谱响应特性,覆盖从紫外光、可见光到红外光(320～1150nm)的广阔区域.采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定.
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给出了自制的3mm×3mm位置敏感元件(PSD)的光谱响应特性,覆盖从紫外光、可见光到红外光(320～1150nm)的广阔区域.采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定.阐述了PSD在卧式原子力显微镜(AFM)系统中的应用,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统,提供了部分样品的AFM扫描图像.结果表明,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度,系统的最大扫描范围为5μm×5μm,分辨率达到1nm量级,表明PSD在光谱响应、时间响应和位置敏感特性
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