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定位装载机构是硅片化学机械抛光（CMP）设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较，介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控制原理，并最终通过在工艺试验中的实际应用确定了该机构已基本达到设计要求。
300mm硅片CMP设备装载技术研究
【摘 要】
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定位装载机构是硅片化学机械抛光（CMP）设备的一个重要组成部分。本文通过对目前CMP设备中硅片定位装载机构的介绍、分析与比较，介绍了一种新型定位装载机构的功能、结构原理及控
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年11期
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