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采用Stillinger-Weber势对不同温度下解理Si(001)表面的原子几何结构进行等温分子动力学模拟.模拟结果表明Si(001)表面除主要的p(2×1)结构之外,较低温度下还会有双悬挂键的单原子结构存在;较高温度下表面还会存在c(2×2)和三聚体等亚稳态结构;接近表面熔化温度时,双悬挂键单原子、c(2×2)和三聚体等亚稳态结构都消失,表面只存在稳定的p(2×1)结构.