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在对一般的制造系统仿真的共性进行抽象分析和建模基础上，依据晶圆制造系统的特点，采用面向对象技术开发了晶圆制造系统实时调度仿真平台。平台采用c样编写，内嵌离散事件仿真引擎，封装了晶圆制造系统仿真程序大部分功能，预定义了部分可扩展方法模块，提供了可调用的接口。该平台实现了晶圆制造系统的仿真，对晶圆制造系统调度以及优化方向的研究提供很大帮助。