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近几年来,出现了超微细电路加工与纳米技术。它将驱动器和传动装置、传感器、控制器、电源集成于几立方亳微米的多晶硅片上,因而获得了完备的机电信一体化的微机械电子系统,并且正向昆虫式微型机器发展。正如美国麻省理工学院教授罗德尼·布鲁克斯所说,“之所以确立这一长期远大的目标,是因为昆虫在现实世界的环境中活动是非常成功的。”它与以往的机器人相比更优越。