【摘 要】
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(2)非切割硅片目前,线切割技术的进步已使硅片厚度降低到180μm,但仍有超过50%的硅料浪费在锯屑或切口中。这些硅碎末虽可重复利用,但人们希望能彻底取消线切割工艺。无切割硅片能
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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(2)非切割硅片目前,线切割技术的进步已使硅片厚度降低到180μm,但仍有超过50%的硅料浪费在锯屑或切口中。这些硅碎末虽可重复利用,但人们希望能彻底取消线切割工艺。无切割硅片能明显降低硅用量(目前工业平均水平为3~6g/W)。
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