以四氯化钛和五氯化钼为原料,采用氨气还原氮化法制备出Mo2 N/TiN复合薄膜.利用XRD、XPS、SEM、UV-Vis和Raman测试手段研究了薄膜组成、形貌、表面增强拉曼光谱性能.结果表明,复合薄膜中TiN和Mo2 N两种物相共存,随着五氯化钼掺量增加,复合薄膜中晶粒逐渐细化,其吸收光谱位于400～600 nm的共振吸收峰峰强增加且逐渐宽化.利用罗丹明6G(R6G)作为探针分子探究Mo2 N/TiN复合薄膜的表面增强拉曼性能,研究发现,当五氯化钼添加量为6％ 时,复合薄膜的表面增强拉曼效应最佳,检测极限为10-5 mol/L,增强因子为0.31×103,且放置6个月后其拉曼增强性能仅降低20.76％.同时复合薄膜具有一定的耐高温特性,其经过500℃ 退火后仍具有表面增强拉曼特性,具有重复利用的潜力.