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介绍了硅烷（SiH4）的物化性质和应用。电子和半导体行业用SiH4要求有高的纯度，重点介绍了SiH4的精制工艺。SiH4的精制方法主要有吸附法、冷冻法和精馏法3类，它们均能满足各自的工艺需要。此外，详细介绍了国外高纯SiH4的灌装工艺。
硅烷的精制及罐装
【摘 要】
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介绍了硅烷（SiH4）的物化性质和应用。电子和半导体行业用SiH4要求有高的纯度，重点介绍了SiH4的精制工艺。SiH4的精制方法主要有吸附法、冷冻法和精馏法3类，它们均能满足各自的工
【机 构】
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黎明化工研究院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2008年5期
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