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<正> 用激光散斑干涉做为干涉计量手段的原理最早是由J.M.Burck和J.M.J.Tokarski在1968年提出来的[1],1972年E.Archbold和A.Ennos用单光束激光散斑法测量了物体的面内位移[2]。由于这种方法具有精度高、非接触,无损测量以及设备简单、调节方便等优点,因此,得到了广泛的应用。