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利用KLM等效电路模型设计了一种中心频率为478MHz的超声传感器。采用溶胶一凝胶法在硅衬底上制备了厚度为4μm的锆钛酸铅（PZT）厚膜压电材料，对压电材料的晶体结构、表面剖面形貌、压电性进行了测试，材料均匀致密，具有较好的压电性。研究了超声传感器的制作工艺，制作出实际工作频率为459MHz的高频超声传感器，搭建测试平台测试其电阻抗，实验值与理论值相匹配，电阻抗误差为1．8％，中心频率误差为3．9％。