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本文简要介绍激光沉积技术的原理、特点及国外科研机构采用这种方法制作陶瓷氧化物高温超导薄膜的技术参数等。本文还探讨了激光沉积超导薄膜的形貌及激光束与靶材的交互作用情况,并展望了这种技术的应用前景。
激光沉积高温氧化物超导薄膜
【摘 要】
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本文简要介绍激光沉积技术的原理、特点及国外科研机构采用这种方法制作陶瓷氧化物高温超导薄膜的技术参数等。本文还探讨了激光沉积超导薄膜的形貌及激光束与靶材的交互作用
【机 构】
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英国帝国学院
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1993年2期
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