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就光致抗蚀干膜与湿膜性能进行了比较，后者分辨率高，成本低，更能适合高新技术产品要求，同时，介绍了湿膜的基本组成及使用方法。
液体光致抗蚀剂
【摘 要】
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就光致抗蚀干膜与湿膜性能进行了比较，后者分辨率高，成本低，更能适合高新技术产品要求，同时，介绍了湿膜的基本组成及使用方法。
【机 构】
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无锡江南大学
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1997年2期
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