喷墨打印次数对SnO2气敏薄膜性能的影响

来源 :郑州轻工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：supercow

【摘要】

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利用溶胶-凝胶法配制了SnO2前驱溶液墨水,采用喷墨打印技术在金叉指氧化铝基片上制备了不同打印次数的SnO2气敏薄膜元件,通过XRD,SEM对薄膜进行结构分析和形貌观察,研究了喷

【作者】

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沈文锋赵岩张彩碚

【机构】

：

中国科学院,东北大学

【出处】

：

郑州轻工业学院学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

气敏次数薄膜性能 SNO2薄膜薄膜电阻溶胶—凝胶法基片喷墨打印丙酮降低 ink-jet printing SnO_2 gas-sensing t

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利用溶胶-凝胶法配制了SnO2前驱溶液墨水,采用喷墨打印技术在金叉指氧化铝基片上制备了不同打印次数的SnO2气敏薄膜元件,通过XRD,SEM对薄膜进行结构分析和形貌观察,研究了喷墨打印次数的改变对薄膜电阻及其气敏性能的影响.实验表明,增加薄膜喷墨打印次数可降低薄膜电阻,提高SnO2薄膜对乙醇、丙酮气体的灵敏度,但会降低对NOx的灵敏性.

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