电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体.本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:①双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;②电感(13.56 MHz)耦合等离子体;③电感(13.56 MHz)耦合增强的双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体.通过研究电感耦合放电对容性耦合放电的影响,以及电感耦合功率、混合气体比例等宏观参量对等离子体特性的影响,获得材料处理的最佳条件.实验发现当气压是5Pa时:①双频容性耦合等离子体密度是1010cm-3左右,极板边缘处等离子体密度较低,中心处较高.随着氩气比例增加,等离子体密度提高,电子温度降低.②电感耦合等离子体放电,随着氩气比例增加,等离子体密度增大.当氩气比例增加到70％,等离子体密度发生数量级改变,高于双频容性耦合等离子体.③电感耦合增强的双频容性耦合等离子体密度较高,当氩气比例是80％,容性电感耦合功率200W时,组合放电等离子体密度最高,均匀性较好,电子温度升高,径向差别不大.通过实验得出,当氩气比例为80％,容性高低频功率分别为150和50 W,电感耦合功率是200W时,双频(60,13.56 MHz)与电感(13.56 MHz)组合放电可以获得高密度均匀的等离子体.