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提出一种新型压力传感器白检测方法——相变热驱动法，在压力传感器的密封腔中填充相变物质，利用相变物质气化后所产生的巨大压力实现自检测功能，通过控制压力腔中相变物质的填充量与加热电阻的加热功率，可以实现不同量程压力传感器的自检测，基于相变热驱动法研制了一种单晶硅大量程自检测压力传感器，传感器为硅-玻璃-硅三层结构，通过静电键合与热键合技术制备，测试结果显示，自检测电压输出为满量程输出的6.8％，综合精度高于2．1‰．