【摘 要】
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非球面在光学系统中占有重要的地位,但其应用一直受到光学加工和检测技术的限制。波带板(Zone plate)法是对非球面进行检测的重要方法之一。文章详细介绍了波带板检测法的原理
【基金项目】
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国家自然科学基金(FO50104), 云南省教育厅科研基金资助项目(2008ZC033)
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非球面在光学系统中占有重要的地位,但其应用一直受到光学加工和检测技术的限制。波带板(Zone plate)法是对非球面进行检测的重要方法之一。文章详细介绍了波带板检测法的原理以及波带板的计算、制作过程,并针对在实际应用中,由于入射光和反射光两次通过波带板后有多级衍射光,导致不容易判别在什么位置才能方便观察,以及哪一组干涉图样才能正确反映反射镜信息这个问题,对整个检测过程进行了衍射模拟计算,为实验检测提供了参考。最后,通过实验检测,并与其它检测方法得到的结果进行比较,证明了所得结果的正确。
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