碱性CMP表面活性剂对硅衬底表面状态的影响

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dangerwind

【摘要】

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【作者】

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洪姣刘国瑞牛新环刘玉岭

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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碱性抛光液硅衬底化学机械抛光(CMP) 表面粗糙度表面缺陷抛光雾

【基金项目】

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国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007)

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