热处理引进Au/NiCr薄膜系统表面状态变化的SEM/SAM研究

来源 :薄膜科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xionglongyan0817
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采用扫描电子显微镜(SEM)和扫描俄歇微探针(SAM)技术,对氧化铝基底上用磁控溅射法沉积的Au/NiCr薄膜系统分别经350℃,20min真空和大气环境下热处理后样品表面状态的变化进行了研究。
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