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采用低温热蒸发法研制出新型的ZnO分级微纳结构，利用场发射扫描电子显微镜和X射线衍射仪对其形貌与结构进行了表征，结果表明，所制备的分级结构为纯六方纤锌矿结构，由主干直径为1-3μm的ZnO微米线和表面的宽度为1μm、厚度约为100nm的晶片组成。用气-固（VS）机制阐明了ZnO分级结构的生长机理。在室温下，用近场光学显微镜测量了ZnO分级结构的光致发光谱，结果显示，在380nm处存在很强的近带隙发光峰，而508nm左右的缺陷发光很弱。