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为减少圆筒型永磁同步直线电机（TPMSLM）在直接驱动方式下的电磁扰动对纳米定位的影响，研究了TPMSLM定子与动子偏心安装的驱动模式，用于改变TPMSLM内部宇间磁场分布，使包含电磁扰动的轴向电磁推力得到有效衰减，同时产生包含电磁扰动的径向电磁力，当两者与导轨摩擦阻尼共同作用时，可实现对电磁扰动的有效吸收．针对TPMSLM定位过冲，研究了变系数PI控制算法，用于实时改变系统的动静态驱动特性，达到对大行程驱动和纳米定位驱动的最佳控制．实验表明，TPMSLM偏心驱动模式及变系数PI控制算法能较好地满足大行程