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基于连续体结构拓扑优化的SIMP材料插值模型，建立了热固耦合场结构的有限元控制方程；通过伴随矩阵方法，研究了热固耦合场的敏度分析问题；以叉指式微电容加速度计质量块受热膨胀后，在加速度检测方向的最大形变不大于某一给定值为目标，以质量块的体积比为约束条件，建立了质量块结构的热固耦合拓扑优化模型；采用优化准则算法进行迭代求解后，得到了微电容加速度计质量块的最优拓扑形式，当工作温度在0-300℃范围内变化时，该拓扑形式在加速度检测方向的最大形变仅为23．9nm。