光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sheryme

【摘要】

：

介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和J

【作者】

：

陈宝钦刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

微光刻技术微纳米加工技术电子束直写匹配与混合光刻技术

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000036504)和国家自然科学基金(批准号:90207004,60376020,60390071,60236010,60276019,60576032)资助项目

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介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术.该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27n m CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构

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