【摘 要】
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分别采用溶液法和磁控溅射法制备了TiO2薄膜。其中对采用磁控溅射法制备的样品进行了退火。用扫描电子显微镜（SEM）观察了薄膜的表面形貌,表征结果发现,与溶液法制备的TiO2薄膜
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51672172)
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分别采用溶液法和磁控溅射法制备了TiO2薄膜。其中对采用磁控溅射法制备的样品进行了退火。用扫描电子显微镜（SEM）观察了薄膜的表面形貌,表征结果发现,与溶液法制备的TiO2薄膜相比,采用磁控溅射法制备的薄膜更加致密,表面粗糙度更低。X射线衍射（XRD）测试结果说明,溶液法制备的薄膜是多晶结构,而磁控溅射制备的薄膜是非晶结构,经过500℃退火后溅射的样品也只有一个（101）峰。在制备好的TiO2薄膜上旋涂钙钛矿层,将其制备成太阳电池,并测试其光电性能。I-V曲线表明,采用磁控溅射法制备的TiO2薄膜制备的电池具有更高的开路电压。
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