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利用金属膜片感受被测压力并将其转换成集中力，再通过传压杆将集中力传递到ＳＯＳ元件上，从而实现了比ＳＯＳ元件量程低的压力测量．基于此原理，用０．３ＭＰａ量程的ＳＯＳ元件，研制成了０．０３ＭＰａ量程的压力传感器．实验结果与理论分析吻合很好
用金属膜片-SOS元件制作的低压传感器
【摘 要】
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利用金属膜片感受被测压力并将其转换成集中力，再通过传压杆将集中力传递到ＳＯＳ元件上，从而实现了比ＳＯＳ元件量程低的压力测量．基于此原理，用０．３ＭＰａ量程的ＳＯＳ元件，研制成了０．０３ＭＰａ量程的压力传感器．实验结果与理论分析吻合很好
【机 构】
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沈阳工业学院自动化研究所,沈阳工业学院,电子工业部第４９研究所
【出 处】
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沈阳工业学院学报
【发表日期】
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0年SGXY902.005期
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