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外形切割是影响LTCC基板质量的一道重要工序。激光切割相对于其他切割方式,具有一定的优势。通过理论分析激光切割参数对LTCC基板质量的影响,对比不同参数的切割效果来对激光参数进行摸索,得到了较好的切割效果。除此之外,还研究了激光切割后基板玻璃熔渣的有效去除,使得激光切割质量有了更大的提升。
LTCC基板激光外形切割研究
【摘 要】
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外形切割是影响LTCC基板质量的一道重要工序。激光切割相对于其他切割方式,具有一定的优势。通过理论分析激光切割参数对LTCC基板质量的影响,对比不同参数的切割效果来对激光
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所微组装中心
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2020年2期
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