真空环境下电容薄膜规测量偏差的原因分析

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在某大型航天器的调试试验中,需使用电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量,结果发现薄膜规测量数据出现了较大的偏差。本文即对这一问题进行原因分析,提出在真空环境下,薄膜本底偏移量是产生偏差的最重要原因,并有针对性地采取解决措施。 In a large spacecraft commissioning test, the need for the use of capacitive film gauge (hereinafter referred to as the film gauge) to measure the degree of vacuum in the sealed capsule found that the film gauge measured data showed a larger deviation. In this paper, the cause of the problem is analyzed. It is suggested that the offset of the film background is the most important cause of deviation in the vacuum environment, and the solution to the problem is taken.
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