微电子机械系统(MEMS)在光通信中的应用及其研究动态

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近年来微电子机械系统(MEMS)成为光通信技术的新热点之一。本文叙述了MEMS技术的特点,论述了MEMS在光通信中的应用,并介绍了国内外的研究情况。
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