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氦离子轰击器壁的再释和溅射脱附效应研究

来源 :广西民族学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：Alexandratj

【摘 要】

：

通过理论和四极质谱法(QMs)获得了氦辉光放电清洗时的氢释放特性和氦再释特性.氢在GDC(He)时的出气为双指数衰减规律,但壁脱附的衰减常数远大于机组和电离抽除的衰减时间常数

【作 者】

：

王志文 

【机 构】

：

广西民族学院物理与电子工程系,广西,南宁,530006

【出 处】

：

广西民族学院学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

脱附 指数衰减 再释 

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通过理论和四极质谱法(QMs)获得了氦辉光放电清洗时的氢释放特性和氦再释特性.氢在GDC(He)时的出气为双指数衰减规律,但壁脱附的衰减常数远大于机组和电离抽除的衰减时间常数,故主要表现为脱附衰减特性,这与实验基本相符.GDC(He)后硅化层中的氦再释出气率的规律为:氦的再释放与时间的-3/2成正比.

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