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叙述了PVD镀膜技术的基本原理,各种PVD工艺和膜分析方法的最新进展,介绍了PVD今后的研究方向。
PVD镀膜技术研究及进展
【摘 要】
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叙述了PVD镀膜技术的基本原理,各种PVD工艺和膜分析方法的最新进展,介绍了PVD今后的研究方向。
【机 构】
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安徽工学院,浙江大学
【出 处】
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安徽工学院学报
【发表日期】
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1993年04期
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