【摘 要】
：
为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过
论文部分内容阅读
为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过试验设计安排15轮试验,然后基于广义回归神经网络建立了以氧化膜厚以及均匀性为目标值的热氧化工艺模型,最后利用信噪比函数对模型的拟合以及预测能力进行了验证与比较分析.结果表明,该方法建立的模型可用于工艺表征与控制.所讨论的方法可用于其他微电路工艺设备的表征.
其他文献
目的 :分析抑癌候选基因NDRG2在人类乳腺肿瘤组织及乳腺癌细胞系中的表达情况 .方法 :收集 4种乳腺癌细胞系及 2 1例乳腺肿瘤组织及其癌旁组织 ,提取总RNA ,应用半定量RT PCR
随着当今竞技运动体育的快速发展,特别是更多女运动员参与到激烈的训练及比赛当中,为了取得成绩,女运动员长期高强度的训练,且不断挑战运动员的心理和生理极限,导致女性运动
本文研究探讨父亲情绪表达与小学高年级学生自我意识的关系。采用《情绪表达性量表》和《儿童自我意识量表》对311对父亲和子女进行测试。结果显示:父亲情绪表达在不同婚姻情
课程与教学论在我国有了较快发展,但其学科体系的建构相对滞后,目前主要有"并存式"、"合分式"和"融合式"三种类型。要建构一个科学化、中国化的课程与教学论学科体系,必须明
对听障儿童心理健康的研究是近几年来关于听障儿童研究的一个热点,听障儿童的心理健康不仅关系到他们自身的发展,而且还关系到社会的稳定和国家特殊教育质量的提高。文章在前
在当今社会,互联网的发展推进了高校的信息传播,提升了高校的教学与管理的质量,但与此同时,网络舆情对高校的教务管理也渐渐发生着影响,文章对高校网络舆情所出现的问题进行
大陆桥运输为国际乃至洲际间的货物运输提供了除海洋运输外的可替代方案。在亚洲建立大陆桥网络不仅对洲际间的货物运输有重要的意义,而且对港口间的竞争,海洋运输和大陆桥运
中国电影市场近年来已经成为全球最具有发展活力的电影市场之一,无论在市场总量、银幕数量还是观影人数上都是已经实现了连续十年的高速递增,2012年,中国电影市场超越日本,成
本论文在反省传播思想史方法的基础上,尝试一种“打破传播学科重做传播学史”的思路,对于“传播学哥伦比亚学派”进行了“复线历史”的知识社会学考论。传播学哥伦比亚学派作