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采用铬原子束激光感生荧光激光稳频技术解决铬原子光刻实验中激光频率随时间漂移的问题．从理论和实验两个方面对铬原子束激光感生荧光强度随激光功率和坩埚温度的变化情况进行了研究．结果显示，在坩埚温度一定的情况下，由于铬原子的饱和效应，当激光功率增大到6mW左右时，荧光斑点的中心强度会达到饱和然后随激光功率的增加变化不大．另外，随着激光功率的增加，荧光斑点轮廓曲线的半高宽在变大的同时，对比度减小．在激光功率一定的情况下，由于铬原子喷射的个数与坩埚温度成正比，荧光斑点的中心强度随坩埚温度的增加而增加，并且不出现饱和效