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针对电力半导体器件的特性和工艺特点,提出了一种适用于电力器件的磷扩散模型并应用MATHMATICA 4对该模型进行计算,计算的结果与SUPREM-IV.GS模拟软件在相同的工艺条件下得到的结果趋于一致.并且与实际扩散结果接近.此种方法为电力器件其他杂质的扩散工艺过程的模拟提供了一定指导作用.
适用于电力器件的磷扩散模型
【摘 要】
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针对电力半导体器件的特性和工艺特点,提出了一种适用于电力器件的磷扩散模型并应用MATHMATICA 4对该模型进行计算,计算的结果与SUPREM-IV.GS模拟软件在相同的工艺条件下得到
【机 构】
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辽宁大学,吉林华微电子有限公司
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年4期
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