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针对国内缺乏对MEMS惯性开关弹道特性仿真研究这一问题,利用ANSYS软件对一种新型非硅MEMS惯性开关进行仿真研究,获得这种惯性开关弹道特性的仿真结果。结果验证了这种新型的非硅MEMS惯性开关具有高可靠性、更灵敏的碰目标响应,可进一步研究其实用价值。
非硅MEMS惯性开关弹道特性
【摘 要】
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针对国内缺乏对MEMS惯性开关弹道特性仿真研究这一问题,利用ANSYS软件对一种新型非硅MEMS惯性开关进行仿真研究,获得这种惯性开关弹道特性的仿真结果。结果验证了这种新型的
【机 构】
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西安机电信息研究所
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2011年10期
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