【摘 要】
：
改良西门子法生产多晶硅还原工艺是高纯的三氯氢硅和氢气在还原炉内发生化学气相沉积反应，得到固态多晶硅，多晶硅根据表观质量，分为致密料、玉米料、珊瑚料。目前，国内多晶硅生产
【机 构】
：
昆明冶研新材料股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
论文部分内容阅读
改良西门子法生产多晶硅还原工艺是高纯的三氯氢硅和氢气在还原炉内发生化学气相沉积反应，得到固态多晶硅，多晶硅根据表观质量，分为致密料、玉米料、珊瑚料。目前，国内多晶硅生产以大型还原炉为主，对成本控制具有明显优势，但存在的问题是多晶硅致密料比例较低。本文通过对还原炉反应温度控制、进料喷嘴布置、反应配比等因素的分析研究，得出了提高还原炉化学气相沉积多晶硅致密料比例的方法、思路。
其他文献
研发人员随机离职事件对新产品研发项目组合调度具有重要影响.以多技能研发人员为调度对象,采用离散马尔可夫链描述人员离职过程,考虑人才培养战略收益、研发周期以及研发成
为了便于用户实时掌握和控制马铃薯贮藏的环境信息,解决窖内环境检测不方便及环境调控不及时等问题,课题组设计了一套基于物联网的马铃薯贮藏环境远程调控系统。该系统主要监
近年来,随着我国社会经济的不断发展,桥梁建设变得越来越重要。在当前的桥梁建设中,大跨径连续桥梁施工很重要,只有确保该施工技术的可靠与安全应用,优化大跨径连续桥梁施工
存在主义思潮,是对20世纪中国美学产生最重要影响的欧洲美学流派之一,中国生命论美学的建构与之息息相通.在存在主义东渐的过程中,百年中国生命论美学对它的接受,经历了"尼采
随着我国事业单位人事制度改革工作的不断深化,绩效改革成为推进我国事业单位人事制度改革的重要方式之一。事业单位绩效改革能够显著地提高员工的工作绩效并缓解工作倦怠,但
随着我国经济的持续、快速发展,城市化和工业化规模的不断扩大,城市污水排放量急剧增加。低成本,高效率的处理污水已经成为每个城市迫切需要解决的问题。搅拌器作为主要的污
目的：研究血清肿瘤坏死因子-α（TNF-α）、白细胞介素-6（IL-6）检测在非酒精性脂肪肝诊断中的意义。方法：选取35例非酒精性脂肪肝患者作为观察组,35名健康人群作为对照组,利用自动生
通过对乙肝病毒 DNA(HBV- DNA)和乙型肝炎表面抗原 (HBs Ag)的定量检测 ,以鉴别HBs Ag阳性人群中的具有传染性的部分 ,对乙型肝炎的预防和治疗提供帮助。方法 :测定 443例不
<正>目的评价循证护理在宫颈癌后程加速超分割放疗患者心理护理中的作用。方法回顾性分析30例宫颈癌后程加速超分割放疗患者的护理资料。结果 30例宫颈癌后程加速超分割放疗