单晶硅纳米加工机理的分子动力学研究

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对内部无缺陷的单晶硅的纳米切削过程进行了分子动力学模拟.通过模拟结果,对单晶硅纳米切削中的切屑形成过程和加工表面的形成过程做出了合理的解释.并用第一原理应力计算方法对单晶硅纳米切削过程中的脆塑转变的可行性进行了研究. Molecular dynamics simulations were performed on the nano-cutting process of internal defect-free monocrystalline silicon. Through the simulation results, a reasonable explanation is given to the chip formation process and the formation process of the machined surface in single crystal silicon nano-cutting. The feasibility of the brittle-plastic transition in single crystal silicon nano-cutting process was studied by the first-principle stress calculation method.
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