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归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出发,实现微/纳电子机械系统元件制造的若干新颖、低成本的方法,并特别介绍其中一些典型应用情况.通过分析表明,随着对微加工过程中一些关键热学机理的深入研究,许多现有技术瓶颈和界限均可望被逐步打破,从而促成更有效的微加工技术的建立.