磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨

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讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀膜工艺及设备、靶材的选择、玻璃基板加热温度的选择、溅射气体的压力的选择等。
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