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磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨
磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨
来源 :玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z1348891
【摘 要】
:
讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀膜工艺及设备、靶材的选择、玻璃基板加热温
【作 者】
:
陈英
郭卫
【机 构】
:
成都中光电科技有限公司,中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司
【出 处】
:
玻璃
【发表日期】
:
2018年6期
【关键词】
:
磁控溅射镀膜
ZnO:Al(AZO)薄膜
工艺
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讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀膜工艺及设备、靶材的选择、玻璃基板加热温度的选择、溅射气体的压力的选择等。
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