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几毫米见方的硅片上，数十亿个元器件用约为一根头发丝干分之一粗细的导线连接起来，这就要求硅片平整度要达到比这条导线还要精细数倍的纳米级甚至埃米级水平。如今，这一涉及硅片平整度的多项世界级难题被河北工业大学“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”团队率先攻克。
刘玉岭：尚德创新报家国
【摘 要】
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几毫米见方的硅片上，数十亿个元器件用约为一根头发丝干分之一粗细的导线连接起来，这就要求硅片平整度要达到比这条导线还要精细数倍的纳米级甚至埃米级水平。如今，这一涉及硅片
【出 处】
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教育与职业
【发表日期】
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2013年22期
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