【摘 要】
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本文介绍了聚羧酸铵盐、丙烯酸树脂、丙烯酸铵盐3种分散剂对半导体行业核心部件用99.8％高纯氧化铝陶瓷喷雾造粒粉的影响.通过氧化铝陶瓷材料的配方设计,调控球磨分散工艺,制备粒度集中、分散均匀的料浆;之后进行喷雾造粒,制备出颗粒级配合理、球形度好、流动性好的喷雾造粒粉体;通过电子显微镜测定造粒粉的球形度、颗粒大小,最终选定了丙烯酸树脂分散剂作为最优分散剂,其合适的添加量为0.40％～0.80％.丙烯酸树脂分散剂浆料喷雾造粒粉体的球形度高,无缺陷,颗粒大小约在45～150μm之间.流动时间为21s,松装密度为1
【机 构】
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山东硅元新型材料股份有限公司,山东淄博,255086
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本文介绍了聚羧酸铵盐、丙烯酸树脂、丙烯酸铵盐3种分散剂对半导体行业核心部件用99.8％高纯氧化铝陶瓷喷雾造粒粉的影响.通过氧化铝陶瓷材料的配方设计,调控球磨分散工艺,制备粒度集中、分散均匀的料浆;之后进行喷雾造粒,制备出颗粒级配合理、球形度好、流动性好的喷雾造粒粉体;通过电子显微镜测定造粒粉的球形度、颗粒大小,最终选定了丙烯酸树脂分散剂作为最优分散剂,其合适的添加量为0.40％～0.80％.丙烯酸树脂分散剂浆料喷雾造粒粉体的球形度高,无缺陷,颗粒大小约在45～150μm之间.流动时间为21s,松装密度为1.16g/cm3,该粉体具有良好的流动性和松装密度,有利于压制高密度的99.8％高纯氧化铝坯体.
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