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介绍了多晶硅薄膜中的残余应力对微结构性能的影响，分析了应力在线测量技术的必要性。说明了T型微检测结构的测试原理，并基于单T型结构设计出双T型检测结构。探讨了检测结构的制作工艺，加工出试验样片，用刻度显微镜测量出试验数据，推导出误差修正公式，结合MathCAD软件计算出应力值。在结论部分，指出了双T型检测结构能够提高测量精度，并给出了多晶硅薄膜残余应力在线测量技术的工艺实现方法。