【摘 要】
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掺锗锑化铟单晶的杂质浓度对制造光导锑化铟探测器来说,是一个重要参数。因而在拉晶工艺中控制杂质的掺杂量,使晶体的杂质浓度满足要求值是必需的。因此,本实验首先确定了锗
【机 构】
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电子部11所,电子部11所,电子部11所
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掺锗锑化铟单晶的杂质浓度对制造光导锑化铟探测器来说,是一个重要参数。因而在拉晶工艺中控制杂质的掺杂量,使晶体的杂质浓度满足要求值是必需的。因此,本实验首先确定了锗在锑化铟中分布系数K值的范围,然后试验了一种更简便的控制杂质浓度的拉晶方
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