一种多孔硅基导模共振滤波器的研究

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提出了一种基于多孔硅的光栅导模共振滤波器,采用严格的耦合波理论分析方法,进行数值仿真并分析了多孔硅基导模共振滤波器的反射光谱特性。同时设计了工作在1550nm波长的窄带多孔硅硅基光栅滤波器的结构参数。研究结果表明,此滤波器具有非常高的反射率峰值,和边带抑制较高且带宽较窄的反射谱,是一种性能优异的光通信硅基滤波器件。
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