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针对传统Sawyer-Tower电路测量薄膜电滞回线的不足，提出了电荷积分改进方案。并在改进Sawyer-Tower电路基础上,结合虚拟仪器测量思想，组建以Lab VIEW和NI公司数据采集卡为核心的软硬件平台测量系统，并结合Matlab对采集数据进行分析处理，实现薄膜本征电滞回线的精确测量。经实验验证本测试系统可以快速准确完成薄膜电滞回线测量。